潔淨工程安裝高效過濾器注意事項
潔淨室最主要之作用在於控製產品（如矽芯片等）所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造，此空間我們稱之為潔淨室。按照國際慣例，無塵淨化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大於劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵並非100%沒有一點灰塵，而是控製在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對於我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對於光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負麵影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。
每立方米將小於0.3微米粒徑的微塵數量控製在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。應用在芯片級生產加工的無塵標準對於灰塵的要求高於A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控製在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。
高效過濾器是潔淨工程中的重中之重，一般來說，潔淨室會安設有初效、中效、高效三級過濾器，高效過濾器主要用於捕集0.5um以下的顆粒灰塵及各種懸浮物，是室外空氣進入潔淨室的最後一道關卡。安裝高效過濾器，並不是像我們日常安裝空調那麽簡單，它是最後一道關卡，責任重大，在安裝時，也有諸多的特殊要求。
特殊之處一：安裝之前室內先清潔
在一般人的設想中，三級過濾器一起安裝，最後一起運行便可以了。然而並非如此。潔淨工程中，在安裝高效過濾器之前，首先要對潔淨室、潔淨空調係統進行全麵清潔，達到清潔要求後，淨化空調係統連續運轉12h以上，再次清掃、擦淨潔淨室後，方可安裝高效過濾器。為什麽要先清潔呢?高效過濾器用於捕集0.5um以下的微粒，如果不先進行清潔，大量的微粒會造成高效過濾器堵塞。
特殊之處二：輕拿輕放，防止劇烈震動
潔淨工程中，高效過濾器的運輸和存放應按照出產廠標誌的方向擱置，運輸過程中應輕拿輕放，防止劇烈振動和碰撞。這是因為高效過濾器是非常精密的儀器，頭發絲般的誤差便會導致儀器失靈，因此需要輕拿輕放，防止劇烈震動。
特殊之處三：安裝現場再打開外包裝
為什麽一定要在安裝現場再打開外包裝呢?在出廠時，高效過濾器經過了精心的包裝，包裝材料也是無塵的，達到了一定的潔淨等級，在潔淨的環境中方可讓高效過濾器曝露在空氣中。
特殊之處四：安裝質量好的預過濾器與中效過濾器
實施潔淨工程，安裝高效過濾器後，再要更換，便十分的麻煩，因為要更換高效過濾器，整個潔淨室便無法應用了。對此，潔淨公司的做法是選擇質量好的預過濾器與中效過濾器，以延長高效過濾器的使用壽命。
高效過濾器的型號、功率、體積、安裝位置等問題，在潔淨室設計中便要解決。一些潔淨公司缺乏經驗，或技術不到位，安裝高效過濾器不得其法，影響了潔淨室的使用。
潔淨區部分高效過濾器進行更換時，用幹淨的抹布清潔高效過濾器的靜壓箱，然後，打開高效過濾器內包裝，將密封條粘貼到高效過濾器的進風側，平穩的把高效過濾器放入靜壓箱內，搬運時一定注意輕拿輕放，並記錄高效過濾器規格型號、編號及安裝位置。固定過濾器時，先檢查過濾器在靜壓箱的中間，過濾器與靜壓箱四周離距相當，固定件應對角固定，防止受力不均或損壞過濾器。靜壓箱內固定螺母應旋緊，使高效過濾器與靜壓箱之間的連接吻合且密封。然後開啟空調機組，對係統進行通風後，打開高效過濾器內包裝，按以上步驟進行更換。
裝好高效過濾器後，運行係統，檢查有無漏風。當發現有漏風時，做如下處理：緊固固定件或更換密封條並重新安裝，高效過濾器本身漏風，則需要更換新的高效過濾器。接下來，安裝高效過濾器麵板，安裝時，按原標記好的方向安裝，麵板與頂棚的連接處盡量減少空隙，防止灰塵積聚。高效過濾器安裝後，應重新進行環境檢測，並做驗證，為下次確定高效過濾器報廢提供最可靠的依據。
