高效過濾器檢漏的目的：通過對潔淨室已安裝好的高效過濾器進行檢漏),確認高效過濾器的完整性及密封性，從而確保測試區域內的潔淨室的潔淨度。

延伸：高效過濾器及其安裝如存在缺陷，如過濾器本身有小孔洞或者安裝不嚴密形成微小裂縫，都會導致達不到預定的淨化效果。因此，高效過濾器安裝或更換後，必須對過濾器和安裝連接處進行檢漏。通過測試高效過濾器的泄漏量，發現高效過濾器及其安裝的缺陷所在，以便采取補救措施 。

下麵為高效過濾器檢漏步驟介紹

1、測試之前拆除空調箱的二級中效過濾器，將氣溶膠發生器放置在風機的負壓段，並將其加熱到400℃。

2、將氣溶膠發生器的進氣口與氮氣瓶接通，緩慢打開氮氣瓶出口減壓閥，使氮氣壓力保持在0.2～0.5Mpa左右，立即會產生氣溶膠顆粒。

3、穩定一段時間後，在總送風管測風速處用氣溶膠光度計檢測氣溶膠濃度，即上遊濃度值。所測氣溶膠濃度應在10～20ug/L範圍內。

4、測試下遊氣溶膠顆粒之前，將氣溶膠濃度參比值設為上遊測得的濃度值。用氣溶膠光度計采樣探頭對高效過濾器及其四周框架掃描檢漏。檢測時光度計探頭離開過濾器表麵2～4cm，沿著過濾器內邊框來回掃描檢漏，掃描速度3～5cm/s，掃描順序依次為括過濾器整個斷麵、過濾器濾紙與框架之間、框架本身及其它安裝節點處。

5、檢漏時應有兩人操作，一人在上麵用光度計采樣探頭來回掃描過濾器，另一人在下麵觀察光度計顯示數值，並做好記錄。

了解更多：如何降低高效過濾器本身的泄漏

包含：鈉焰法、油霧法、DOP 法、粒子計數法、熒光法。

2.2.1鈉焰法

該方法在1969年起源於英國，歐洲部分國家於20世紀70~90年代實行。目前在我國仍在使用，它的實驗塵源為單分散相氣化鈉鹽霧。鈉焰法是根據鈉原子被氫氣火焰激發後發出波長為589nm的特征光，光的強度與氣溶膠質量濃度成比例的原理，通過檢測被測過濾器前後光強度的比值來計算過濾器效率。鹽水在壓縮空氣的攪動下飛濺，經幹燥形成微小鹽霧並進入風道。在過濾器前後分別采樣， 含鹽霧氣樣使氫氣火焰的顏色變藍、亮度增加。以火焰的亮度來判斷空氣的鹽霧濃度，並以此確定過濾器對鹽霧的過濾效率，主要儀器為光度計國家標準規定的鹽霧顆粒平均直徑為0.4μm,但對國內現有裝置的實測結果為0.5μm。歐洲對實際實驗鹽霧顆粒中徑的測量結果為該方法的相關標準有：英國BS3928-1969,歐洲Eurovent 4/4,中國GB6165-85。

鈉焰法隻能檢測過濾效率小於5個9的過濾器，並且不同的鈉焰台對同一係列過濾器的檢測表明鈉焰台的效率測試結果往往相差偏大，另外鈉焰法測試會對過濾器造成鈉汙染，用此方法進行過測試的被測卨效過濾器在電子行業中的應用有很大限製。隨著掃描法的普及，歐洲己經不再使用鈉焰法，國內有關部門正在修訂原有的國家標準。

2.2.2油霧法

該方法起源於德國，中國和前蘇聯也實行。塵源為油霧。以過濾器前後氣樣的濁度差別來判斷過濾器對油霧顆粒的過濾效率。德國規定使用石蠟油，油霧粒徑為0.3-0.5μm國內標準規定油霧平均重量直徑為0.28-0.34μm,對油的種類未做具體規定。該方法在徳國已經成為曆史，在國內也隻有部分生產濾材的廠家在測量過濾材料時使用。相關的標準有：中國GB6165-85,德國DIN24184-1990。

2.2 3 DOP 法

該方法曾經是國際上測量高效過濾器最常用的方法，於1956年起源於美國， 曾被許多國家釆用，但在中國國家標準中未被采用。它的實驗塵源為0.3μm單分散相鄰苯二甲酸—辛酯（DOP)液滴，也稱為“熱DOP”。將DOP液體加熱成 蒸汽，蒸汽在特定的條件下冷凝成微小液滴，去掉過大和過小的液滴後留下0.3μm左右的顆粒，進入風道。測量過濾器前後氣樣的濁度，並由此判斷過濾器 對0.3μm粉塵的過濾效率。測量儀器主要是光散射式光度計（photometer)。與此對應的‘‘冷DOP”是指Laskin噴嘴（用壓縮空氣在液體中鼓氣泡，飛濺產生霧態人工塵）產生的多分散項DOP粉塵，在對過濾器進行掃描測試時，人們經常使用冷DOP。相關標準有：MIL-STD-282-1956。

早期，人們認為過濾器對0.3μm的粉塵最難過濾，因此規定使用0.3μm粉塵測量高效過濾器。DOP中含苯環，人們懷疑它致癌，因此許多實驗室改用性能類似但不合苯環的替代物，如DOS。

2.2.4粒子計數法

該方法在歐洲通用，美國超高效過濾器測試也采用比較類似的方法。是目前國際上的主流測試方法。塵源為多分散相液滴，或確定粒徑的固體粉塵。有時， 過濾器廠商要按照用戶的特殊要求，使用大氣粉塵或其他特定粉塵。若測試中使用的是凝結核計數器，就必須使用粒徑已知的單分散相實驗粉塵。主要測量儀器為大流量激光粒子計數器或凝結核計數器（CNC）。用計數器對過濾器的整個出風麵進行掃描檢驗，計數器給出毎點的粉塵的個數，還可以比較各點的局部效率》 歐洲的經驗表明，對於高效空氣過濾器，最易穿透的粉塵粒徑在0.1μm~0.25μm 之間的某一點，先確定測試條件最易穿透粉生粒徑，然後連續掃描測量過濾器對該粒徑粉塵的過濾器效果，歐洲將這種方法稱為MPPS法。美國標準規定隻測最 0.l~0.2nm區間的顆粒。該方法的相關標準有：歐洲EN1882-1998~2000,美國 IES-RP-CC007.1-1992。

2.2.5熒光法
隻有法國使用目前僅限於對部分核工業過濾器的測試。試驗塵源為噴霧器產生的熒光素鈉粉塵。試驗中，首先在過濾器前後采樣，然後用水溶解采樣濾紙上的熒光素鈉，再測景含熒光素鈉水溶液在特定條件下的熒光亮度，這一亮度間接地反映出粉塵的重竜。以過濾器前後樣品的熒光克度差別來判斷過濾器效率發塵裝置產生的粉塵粒徑的計數乎均值為0.08μm粒徑的體積平均值為0.15μm。

本文出處：基於歐洲1822標準的高效空氣過濾器全效率測試台及掃描測試台的研製

隨著電子工業的飛速發展，對電子工業產品生產環境中的懸浮微粒的控製越來越嚴格，使得空氣過濾產業麵臨著巨大的機遇和挑戰。目前國內現行的高效、 超高效過濾器性能測試國家標準的鈉焰法、油霧法由於種種缺陷己不能滿足實際發展的需要。因此有必要參考相關國際標準研製新型高效、超高效空氣過濾器性能檢測係統，解決國內高效空氣過濾器質量檢測手段落後的現狀。

本檢漏係統以歐洲標準EN1822為綱領，同時借鑒日本J1SB9908標準及美 國IEST標準，分別搭建了高效（超高效）過濾器全效率測試台和掃描測試台。整套係統可以測量高效空氣過濾器的最易穿透粒徑效率和局部效率。鑒於國外高效過濾器檢測係統的自動化程度比國內要高出一定水平，通過引入步進電機等自動化儀器儀表自行開發了該檢測台的自動控製係統和係統控製軟件，使該檢測台自動化程度高，功能全麵。本檢測係統在前人工作的基礎上重新設計了掃描結構和掃描程序，實現了掃描台的實用性。

本文重點介紹檢測台的製作，設備選型，自動控製係統的設計。通過新型高效濾器性能檢測實驗台的研製.獲得一些有價值的數據資料。本檢測係統的建成為國內過濾器生產商提供了一套保證其產品質量的有利T工具，對今後的過濾器自動檢測係統的設計.和製造有一定的指導意義。

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文章來源：基於歐洲1822標準的高效空氣過濾器全效率測試台及掃描測試台的研製

高效過濾器檢漏分為出廠檢測和現場檢測兩種。

出廠檢測：即為過濾器廠家在做好的高效過濾器時對其進行的檢測，檢測合格才出廠。

現場檢測：主要是針對過濾器的一些出廠數據進行核實、檢測。

高效過濾器檢漏的目的：通過對潔淨室已安裝好的高效過濾器進行PAO檢漏(高效過濾器檢漏PAO的掃描方法),確認高效過濾器的完整性及密封性，從而確保測試區域內的潔淨室的潔淨度。

延伸：高效過濾器及其安裝如存在缺陷，如過濾器本身有小孔洞或者安裝不嚴密形成微小裂縫，都會導致達不到預定的淨化效果。因此，高效過濾器安裝或更換後，必須對過濾器和安裝連接處進行檢漏。通過測試高效過濾器的泄漏量，發現高效過濾器及其安裝的缺陷所在，以便采取補救措施 。

工作原理：在被檢測高效過濾器上風側發生PAO氣溶膠作為塵源，在下風側用光度計采樣檢測，含塵氣體經過光度計時產生的散射光經光電效應和線性放大轉換為電量，並由微安表快速顯示，采集到的空氣樣品通過光度計的擴散室，由於粒子擴引起燈光強度的差異，經測定這個光強度，光度計便可測得氣溶膠的相對濃度。PAO檢漏法中測得的是高效過濾器的穿透率，即光度計直接顯示穿透率讀數。

藥廠PAO檢測產品一般為：液槽高效過濾器、DOP液槽高效送風口、DOP液槽FFU、百級層流傳遞窗等產品。

目前針對高效過濾器檢漏PAO的檢測設備不同，高效過濾器檢漏PAO的掃描方法可以分為兩大類：氣溶膠光度計掃描（photometer scanning）和顆粒計數器掃描（particle counter scanning）。當然兩種檢測設備也是各有優點和缺點的，本文摘自EN-SIO-14644-3的一些相關信息。

1、氣溶膠光度計掃描的缺點：

光度計的精度較顆粒計數器差，所以隻能測試HEPA高效過濾器，ULPA超高效過濾器隻能用顆粒計數法。

2、氣溶膠光度計掃描的優點：

光度計使用方便、檢測結果易於判斷、對泄露檢測比較敏感，所以在現場檢漏中應用比較廣泛，藥廠多用此法做現場測試。

一般來講在做氣溶膠光度計掃描法時，其上遊的濃度是做顆粒計數器掃描時的100到1000倍。（摘自：EN-SIO-14644-3-B.6.1.2）

氣溶膠光度計掃描法（photometer scanning）與顆粒計數器掃描法（particle counter scanning）做為高效過濾器檢漏測試都可行並有相關測試標準，但測試結果沒有直接的可比性。（摘自：EN-SIO-14644-3-B.6.1.1）

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直達PAO檢漏法介紹：高效過濾器檢漏測試PAO法

小知識：為什麽要對高效過濾器現場測試？

通常，過濾器通過出廠檢驗，由過濾器廠商提供測試報告，由此證明過濾器符合客戶現場需求。但是，客戶如何能夠更準確清晰的了解過濾設備在現場使用環境下，依舊能夠保持廠商出廠所作的保證呢？這時候，就必須要通過對過濾設備進行現場檢測，以確認其能夠達到用戶需求及供應商報告所顯示的過濾效果。

根據對PAO的檢測設備不同，高效過濾器檢漏PAO的掃描方法可以分為兩大類：氣溶膠光度計掃描（photometer scanning）和顆粒計數器掃描（particle counter scanning）。

1、使用氣溶膠光度計掃描（photometer scanning）

便攜式數字光度計規格

大小:25.7 cm × 33.0 cm × 15.2 cm

重量:21.8Kg，其中主機8.6Kg

電源:100-250V，50/60Hz，0.25 amps @ 240V

自動歸零:啟動時自動零讀數

報警:超過設置點時，有聲音、視覺和震動報警

流速控製:寬脈衝調節能使流速控製在1cfm (28.3lpm) +/- 10%

氣溶膠設置:PAO-4, DOP,

動態範圍:最高到600微克/升

靈敏度:讀數的1%（讀數在0.01%到100%之間）

重複性:讀數的0.5%（讀數在0.01%到100%之間）

光源:穩定的固態光源

數據輸出:USB

報告:連續、摘要模式

打印機附件:熱敏打印機提供摘要報告和端口

產品應用:潔淨房,層流台,生物安全櫃,手套箱, HEPA吸塵機, HVAC係統, HEPA過濾器,負壓過濾裝置手術室,核子過濾係統,科研。

此法主要是用氣氣溶膠光度計對過濾器上遊及下遊PAO的濃度進行測定，從而確定過濾器是否泄漏。在進行測試時上遊濃度控製在10ug/L-100ug/L之內聯樣控頭距離過濾器不超過25.4mm,掃描速度不能超過50mm/s(EN-ISO-14644-3)。在醫藥行業中有同樣的要求，如YY0569-2005生物安全櫃。

2、使用顆粒計數器掃描（particle counter scanning）

高效過濾器檢漏PAO的掃描方法使用顆粒計數器掃描，以顆粒數來表達過濾器上下遊（個/m³，個/ft³），從而計算高效空氣過濾器的局部效率，判斷過濾器是否泄漏。

主要技術參數：

采樣量：2.83L/min

檢測範圍：100級～30萬級

判斷淨化級別：自動判斷淨化級別

粒徑通道：0.3、0.5、1、3、5、10(µm)，六檔粒徑同時顯示

采樣周期：1～10(min)

自淨時間：≤10（min)

公英製換算：有公英製換算

打印功能：內置打印機

工作環境溫度：10～35℃　　相對濕度：≤75%RH

連續工作時間：8小時

帶計數超限報警：100級、1000級、10000級、100000級、300000級

電源 功耗：AC 220V 50Hz 15w

外形尺寸（寬×高×深）：203×120×250（mm)

重量（kg)：2.6(kg)

數據存儲：246組

顯示方式：高清晰大屏幕液晶屏顯示（LCD）

光源及壽命：半導體激光光源＞30000小時

隨機附件：說明書、合格證、檢測報告、保修卡、等動力采樣頭、采樣管、三角架、打印紙、精美鋁箱

具體的測試方法可以參考EN-ISO-14611-3或IEST-RP-CC034.1。

了解更多知識：高效過濾器檢漏

直達PAO檢漏法介紹：高效過濾器檢漏測試PAO法

高效過濾器的現場檢漏中通常采用PAO，發生器在過濾器上遊發塵，使用光度計（photometer）、顆粒計數器（particle counter）檢測上下遊氣溶膠濃度來判定過濾器是否泄漏。

PAO發生器可分為熱發生和冷發生兩種：

1、熱發生器是利用蒸發冷凝的原理，被霧化的氣溶膠粒子用加熱器蒸發，並在特定條件下冷凝成微小液滴，去掉過大和過小的液滴後留下0.3um左右的霧狀PAO進入風道，其MMD（mass median particle diameter）粒徑為0.3左右，但因蒸發效應，其真實粒徑分布在0.1-0.3um。該方法主要用在過濾器穿透效率測試（Penetration test）中，如MIL-STD-282。

2、冷發生器是指利用壓縮空氣在液體中鼓氣泡，經laskin噴管飛濺產生物態的多分散相PAO氣溶膠，其MMD（mass median particle diameter）粒徑為0.5-0.7um左右（EN-ISO 14644-3-B.6.2.2）,CMD（count mean diameter）為0.3um左右（IEST-RP-CC021.1）,且粒徑分布較熱發生器要寬，成正態分布。該方法主要用在對過濾器的掃描檢漏（Scan test）。如IEST-PR-CC034.1,EN-ISO-14644-3,EN1822-4（參考：EN 1822對高效過濾器效率等級規定）。

小知識：為什麽要對高效過濾器現場測試？

通常，過濾器通過出廠檢驗，由過濾器廠商提供測試報告，由此證明過濾器符合客戶現場需求。但是，客戶如何能夠更準確清晰的了解過濾設備在現場使用環境下，依舊能夠保持廠商出廠所作的保證呢？這時候，就必須要通過對過濾設備進行現場檢測，以確認其能夠達到用戶需求及供應商報告所顯示的過濾效果。

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